产品中心
在半导体器件的生产过程中，压力这一物理量的测量、校准 及控制是许多制程的关键组成部分。德鲁克是压力测量行业 的知名品牌，经过逾半个世纪的积累，我们在包括半导体行 业在内的诸多行业中积累了丰富应用经验。
● 德鲁克面向半导体等行业的超纯介质压力测量应用推出了超 纯压力传感器，该系列的核心设计源于经典的UNIK5000系 列。数十年来，该系列压力传感器在各类对性能及可靠性要 求严苛的应用，例如航空航天、发动机测试及其他工业压力 测试等领域中获得了广泛认可。
● 同时，UNIK5000P系列超纯压力传感器采用专用生产及包装 制程，以确保所需的超纯、无油特性得以满足。基于大量应 用的反馈结果，该系列拥有优良的可靠性和稳定性。融合了 高精度、高稳定性以及低成本特性的U NIK系列超纯压力传感 器业已得到诸多用户的认可。
应用行业
● 半导体、太阳能、液晶面板制造设备等
● 超纯介质和特殊气体系统压力测量
应用介质
● 超纯及有毒等特种介质
特点
● 量程最大可5000psi
● 综合测量精度可达±0.2%FSBSL
● 补偿温度范围可达-40〜+125°C
● 硅压阻敏感元件，年稳定性士0.05%FS,具备高可靠性
● 快速响应时间，上电时间小于30ms
● 具备完整的半导体工艺过程压力接口选项
● 接液部分采用EP电解抛光，RaW0.13|jm(RA5),符合 SEMI F19
● 适用于与316L不锈钢和哈氏合金C276兼容的超纯流体，接 液部分材质符合SEMI F20, VIM/VAR材质可选
● 接液部分脱脂清洗，产品采用双层真空包装
● 危险区域认证可选
性能参数
测量指标
▍ 压力量程
● 表压量程：15~14.5psi S-15~1000psi 之间任意选择
● 密封表压量程：15~145psi至-15~5000psi之间任意选择
● 绝压量程：0~14.5psi至0~5000psi之间任意选择
▍ 最大过压
● 量程W7MPa： 4 X FS （最高20MPa）
● 其他量程：2 X FS （最高29.6MPa）
▍ 封堵压力
● 表压量程W7MPa： 6 x FS （最高达20MPa
● 密封表压及绝压量程＜7MPa：最高20MPa
▍ 供电和输出
电信号选项 | 说明 | 供电电压V | 输出 | 电流消耗mA |
2 | mA | 7-32 | 4-20mA | - |
5 | 基础可配置V输出3线 | 7-32* | ** | <3 |
● 最小供电电压为最大输出电压+1V（不小于7V）
● 选项5输出信号须满足以下条件
输出信号 | 选项5 |
最小电压跨度 | 4V |
最大电压跨度 | 10V |
最大输出电压 | 11V |
最大零点偏置 | Span/2 |
反向输出响应 | NO |
1.可配置输出电压分辨率为0.1V
2.对于最高至110%FS的压力，电压输出仍然会有成比例的响应。例如，如果选择0-10V输出，则在0-11V的范围内测量结果均有效
3.选项5:输出信号在零压力下并不真正达到零电压，在小于1%满量程压力下为定值输出，约为50mV
性能指标
▍ 精度
● 非线性、迟滞、重复性的综合影响: ±0.2%FS BSL
▍ 长期稳定性
● 典型值±0.05%FS/年(最大值士0.1%FS/年，35kPa以下量程相应增大)典型值士0.05%FS/年(最大值士0.1%FS/年，35kPa以下量程相应增大)
▍ 温度影响
● -20~+80°C:±1.5%FS 温度误差带(TEB)
● 35kPa以下量程，温度影响相应增大
▍ 零点和满量程设置
出厂设置:
产品描述 | 工业级 |
电流、电压型(可拆卸式电气接口DIN43650) | ±0.5%FS |
电流、电压型(电气接口M12*1) | ±1%FS |
● 可拆卸式电气接口选项DIN43650有±5%FS的调整量。
▍ 上电时间
● <30 ms
▍ 绝缘
● 500 Vdc:大于等于100 MΩ
▍ 压力接口
● 请参阅选型表
▍ 氦气泄漏测试
● 1x10-10mbar L/Sec，满足SEMIF1
▍ 电气接口性能
编号 | 描述 | 最大工作温度范围°C | IP等级 | 零满调整 |
7 | DIN43650，可拆卸 | -40至+80 | 65 | 是 |
G | M12*1四针 | -55至+125 | 67 | 否 |
▍ 电气连接
选项代码 | 连接类型 | 电气连接描述 | ||
4-20mA | 电压 | |||
7 | DIN 43650 | 1 | +ve 供电 | +ve 供电 |
2 | -ve 供电 | 0V共地 | ||
3 | 67 | +ve 输出 | ||
E | 外壳 | 外壳 | ||
G | M12*1四针 | 1 | +ve 供电 | +ve 供电 |
2 | - | +ve 输出 | ||
3 | -ve 供电 | 0V共地 | ||
4 | 外壳 | 外壳 | ||
认证
● ROHS 2011/65/EU, CE认证
● UKCA认证，KC认证
▍ EMC标准
● BS EN 61000-6-1:2007:抗干扰-轻工业
● BS EN 61000-6-2:2005:抗干扰-重工业
● BS EN 61000-6-3:2007+Al:2011:辐射-轻工业
● BS EN 61000-6-4 2007+Al:2011:辐射-重工业
● BS EN 61326-1:2013:测量、控制、实验室用电气设备
● BS EN 61326-2-3:2013:特殊要求的传感器
▍ 危险区域认证
● lECEx/ATEX Intrinsically Safe 'ia' Group IIC
● NEPSI Intrinsically Safe 'ia' Group IIC
机械图纸
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